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PECVD氮化硅膜的制备及其红外光谱分析
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PECVD氮化硅膜的制备及其红外光谱分析
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刘怀平
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PECVD氮化硅膜的制备及其红外光谱分析
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呵呵 好主意啊
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Shiren
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王华斌
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王华斌
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吴学健
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吴学健
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PECVD
简称:化学等离子体气象沉淀器(仪)
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吴学健
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吴学健
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用高频电流的原理产生高强的电子束(能量脉冲电子)
轰击化学气体,从而产生沉淀,镀膜于基体上(如玻璃)
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